チタンのプラズマ窒化

プラズマ窒化はチタン合金にも適用される表面硬化処理だ。プラズマ環境中で窒素を表層に導入し、硬く耐摩耗性のある層を形成する。しかしプロセス管理は微妙で、層の形成は表面の清浄度と正確なガス組成に大きく依存する。パラメータを正確に合わせないと、層が薄すぎたり、過大な残留応力による剥離のリスクが生じる。窒化前に部品は完全に脱脂し乾燥させる必要があり、プロセス後は徐冷して割れを防ぐべきだ。